009-3939

编号

009-3939

类别

09类 科学仪器

英文名称

Photomask substrates, namely, synthetic quartz glass plates being structural parts of excimer steppers, for use in fabrication of integrated circuits

中文名称

光掩模基板，即作为准分子步进器结构部件的合成石英玻璃板，用于集成电路的制造